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商品情報



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商品NO 1284 商品名 HV高真空対応 APCコントロールバルブ(ISO) メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 ISO63BFV、ISO100BFV、ISO160BFV 価格 商品問合せ
特徴 •弁体部が0〜90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットルバルブです(バタフライ)
• コントローラ搭載型バルブ
• スプリード販売品限定のスプリードオリジナルアナログソフト(日本語版)付属
•CVD,ALDなど排気コントロールが必要な装置に利用されます
カタログ
仕様 材質:アルミニウム/ステンレス
シール方式:Oリング回転軸シール
使用圧力領域(Pa):1.10-6〜0.12M
備考 管理NO